<공시> 원익아이피에스, 가스분사 조립체 관련 특허 취득 기자정보, 기사등록일 입력 2012-09-18 13:55 도구모음 인쇄 기사 공유 기사공유 페이스북 트위터 카카오톡 네이버 밴드 웨이보 URL복사 닫기 글자크기 조절 글자크기 설정 글자크기 줄이기가 글자크기 기본가 글자크기 키우기가 글자크기 최대 키우기가 닫기
아주경제 유희석 기자= 원익아이피에스는 18일 가스분사 조립체 및 이를 이용한 박막 증착 장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다. 원익아이피에스는 이번 특허가 “복수의 기판을 처리하는 원자층 증착장치에서 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 박막 증착 장치”라며 “향후 반동체 장비의 경쟁력 강화에 도움이 될 것”이라고 밝혔다. 좋아요0 화나요0 추천해요0 ©'5개국어 글로벌 경제신문' 아주경제. 무단전재·재배포 금지 0개의 댓글 0 / 300 등록 댓글 더보기 로그인 후 댓글작성이 가능합니다.로그인 하시겠습니까? 취소 로그인 닫기 댓글을 삭제 하시겠습니까? 취소 삭제 닫기 이미 참여하셨습니다. 확인 닫기 이미 신고 접수한 게시물입니다. 확인 닫기 신고사유 불법정보 개인정보 노출 특정인 비방/욕설 같은 내용의 반복 게시 (도배) 기타(직접작성) 0 / 100 취소 확인 닫기 신고접수가 완료되었습니다. 담당자가 확인후 신속히 처리하도록 하겠습니다. 확인 닫기 차단해제 하시겠습니까? 취소 해제 닫기 사용자 차단 시 현재 사용자의 게시물을 보실 수 없습니다. 취소 차단 닫기 실시간 인기 종합 경제 정치 사회 모바일 1충무로 시대 여는 SKC...동박·유리기판 판매량 확대로 턴어라운드 속도↑ 2"계엄군, 계엄해제 의결했는데 국회 일부 단전"...尹 '국회 질서유지' 흔들 3필리핀서 납치됐던 우리 국민, 엿새 만에 구조 4이재명, 상속세 개편 시동거나...국민의힘 '상속세율 인하' 비판 5민노총, 1만5000명 참가한 대규모 집회 진행 "尹 즉각 파면하라" 6이재명 "성장해야 분배 있다"...'우클릭' 지적에 "프레임 전쟁" 7블룸버그 "TSMC, 트럼프 압박에 인텔 美공장 인수·운영 고려" 1충무로 시대 여는 SKC...동박·유리기판 판매량 확대로 턴어라운드 속도↑ 2고용부, 부산 반얀트리호텔 화재 참사에 전국 공사현장 1000곳 긴급점검 3법원 '노조 면죄부'에 재계 속수무책…"판도라 상자 열렸다" 4재계 대표 최태원, 베트남 이어 미국 방문...韓 기업 어려움 해결사 나서 5대한상의, 美 통상외교 나선다…백악관·의회와 관세 협상 6트레이더스 마곡점 "오픈 주말 매출 44억원"…이마트 거대 상권 공략 통했다 7반도체 보조금 백지화 가능성… 삼성·SK 대응 고심 1필리핀서 납치됐던 우리 국민, 엿새 만에 구조 2사우디 "트럼프·푸틴 정상회담 환영" 3김정은, 낙원양식소 착공식 '첫 삽'…"해양산업 사활 걸어야" 4'트럼프 2기' 첫 한미 외교장관회담..."北 완전한 비핵화 협의" 5中대사관, '캡틴아메리카' 尹지지자 난입 시도에 "우려와 유감" 6K-방산, 동남아 진출 '파란불'..."경제성‧품질 갖추고 정치적 부담 낮아" 7트럼프 2기 첫 한·미 외교장관회담…조태열 "관세해법 모색" 1민노총, 1만5000명 참가한 대규모 집회 진행 "尹 즉각 파면하라" 2여수해경, 7일차 항공·수중 수색에도 실종 선원 발견되지 않아 3'블랙 출신' 홍장원 "내가 빨갱이면 대한민국 전체가 빨간 것" 4김동연, 광주서 사실상 대권출마 선언...'새로운 한국 위한 비전 제시' 5경기도 손절하는 구리시, GH 구리 이전 재검토되어야 6"사립대학·학교법인 법률문제 대응…교육 역량 제고 일조할 것" 7"尹 불인정은 반국가 행동"...5‧18 성지에서 열린 '탄핵 반대' 집회 1충무로 시대 여는 SKC...동박·유리기판 판매량 확대로 턴어라운드 속도↑ 2법원 '노조 면죄부'에 재계 속수무책…"판도라 상자 열렸다" 3재계 대표 최태원, 베트남 이어 미국 방문...韓 기업 어려움 해결사 나서 4반도체 보조금 백지화 가능성… 삼성·SK 대응 고심 5대한상의, 美 통상외교 나선다…백악관·의회와 관세 협상 6과기정통부, 한미 과학기술 협력 강화를 위해 美 과학기술계와 소통 7전국 주유소 기름값 내려…서울 휘발유값 1700원대 회복 오늘의 1분 뉴스 '트럼프 2기' 첫 한미 외교장관회담..."北 완전한 비핵화 협의" "尹 불인정은 반국가 행동"...5‧18 성지에서 열린 '탄핵 반대' 집회 이재명, 상속세 개편 시동거나...국민의힘 '상속세율 인하' 비판 K-방산, 동남아 진출 '파란불'..."경제성‧품질 갖추고 정치적 부담 낮아" 고용부, 부산 호텔 공사장 화재에 "전국 건설 현장 긴급 점검" 무학여고 별관 화재로 심한 연기…인명피해 없이 진화 포근한 주말…낮 최고기온 6∼14도 포토뉴스 '불법 촬영' 황의조, 1심 징역 1년에 집행유예 2년 부산 반얀트리 호텔 신축공사장 화재 하늘로 떠나는 하늘이 윤석열 대통령, 탄핵심판 8차 변론 참석 아주 글로벌 中國語 English 日本語 Tiếng Việt 【哈尔滨亚冬会】韩国队摘得女子冰壶金牌 亚冬会完美收官 North Korea 'poised to mass-produce ICBMs,' US commander says 韓国フィギュア…キム・チェヨンに続きチャ・ジュンファン「シングル金」 Cuộc chiến thuế quan của Tổng thống Trump đe dọa nhiều ngành "xương sống" của nền kinh tế Hàn Quốc
주요기사 현실화한 트럼프발 자동차 관세폭탄...현대차·기아·GM 초비상 첫 한·미·일 외교장관회의서 北비핵화 의지 재확인 ‘시계제로’ 삼성…이재용의 선택은 우크라군 소식통 "북한군 2000명, 훈련 마치고 러 서부로"
![[날씨] 포근한 주말…낮 최고기온 6∼14도](https://image.ajunews.com/content/image/2025/02/15/20250215150405416291_258_161.jpg)
![[포토] 불법 촬영 황의조, 1심 징역 1년에 집행유예 2년](https://image.ajunews.com/content/image/2025/02/14/20250214145226377542_388_136.jpg)
![[포토] 부산 반얀트리 호텔 신축공사장 화재](https://image.ajunews.com/content/image/2025/02/14/20250214125125795304_388_136.jpg)
![[포토] 하늘로 떠나는 하늘이](https://image.ajunews.com/content/image/2025/02/14/20250214125405185540_388_136.jpg)
![[포토] 윤석열 대통령, 탄핵심판 8차 변론 참석](https://image.ajunews.com/content/image/2025/02/13/20250213102754205067_388_136.jpg)
![[ハルビンAG] 韓国フィギュア…キム・チェヨンに続きチャ・ジュンファン「シングル金」](https://image.ajunews.com/content/image/2025/02/13/20250213213430670456_518_323.jpg)
