[세미콘코리아] ATMI, 삼성ㆍSK 반도체에 반드시 쓰이는 이것

아주경제 이재영 기자 = 미국 ATMI가 12일 코엑스에서 개막한 세미콘코리아 2014에 참가했다.

ATMI는 반도체공정에 필수적인 소스가스를 담는 실린더(사진 중앙 흰색 용기)를 삼성전자와 SK하이닉스 모두에 공급하고 있다고 밝혔다.

소스가스는 맹독성 가스로서 이를 담는 실린더의 안정성이 중요하다. ATMI가 생산ㆍ공급하는 실린더는 이러한 소스가스를 대기압보다 낮은 압력으로 보관해 안정성이 강점인 제품으로, 세계에서 유일 특허를 보유하고 있다고 회사측은 설명했다.