삼성전자 등 반도체 공장서 발암 물질 발견

(아주경제 이혜림 기자) 삼성전자 등 국내 반도체 제조 공장에서 발암성 물질이 발견됐다.

6일 고용노동부 산하 한국산업안전보건공단은 2009년부터 지난해까지 3년 간 삼성전자·하이닉스·페어차일드코리아 등 국내 사업장을 대상으로 ‘반도체 제조 사업장 정밀 작업환경평가 연구’를 진행한 결과 벤젠 등 일부 발암물질이 극소량 발견됐다고 발표했다.

이번 연구는 지난 2007년 삼성전자 공장에서 백혈병 환자들이 잇따라 발생하자 집단 역학조사 차원에서 이뤄졌다.

각 사업장의 웨이퍼 가공라인(Fabrication) 5개소와 반도체 조립라인(Assembly) 4개소를 대상으로, 발암 물질인 △벤젠 △포름알데히드 △전리방사선 등의 항목에 대해 조사가 진행됐다.

백혈병 유발 물질이기도 한 벤젠은 웨이퍼 가공라인과 반도체 조립라인 일부 공정에서 부산물로 발생(가공라인 불검출~0.00038ppm, 조립라인 0.00010~0.00990ppm)했다.

노출기준(1ppm)보다 매우 낮아 인체에 직접 영향을 미치는 수준은 아니다. 조립공장에서 사용하는 수지가 공정온도(180℃)에서 분해되면서 벤젠 등 휘발성 유기 화합물 형태로 나왔다.

또 포름알데히드는 가공라인(0.001~0.004ppm)과 조립라인(0.002~0.015ppm)에서 검출됐지만, 역시 노출기준(0.5ppm)보다 낮은 것으로 나타났다.

전리방사선은 웨이퍼 가공라인과 반도체 조립라인에서 측정(0.011~0.015m㏜/yr)됐다. 개인 노출선량한도(방사선작업 종사자 50m㏜/yr)보다 낮았다.

이에 대해 삼성 관계자는 “조사결과를 보면 검출은 됐지만 인체에 직접적인 영향은 미치지 않는 수준”이라며 “하지만, 임직원의 건강에 연관된 일인 만큼 더욱 철저히 관리해 나갈 것”이라고 밝혔다.

한편, 삼성전자는 반도체와 LCD 공장에서 근무하다 퇴직한 임직원 중 암이 발병한 경우 치료비로 최대 1억원을 지원하는 퇴직자 지원제도를 운영하고 있다.