'휘는 반도체' 대량생상 현실로..극자외선 이용 공정 개발

휘어지는 산화물 트랜지스터 및 집적회로

아주경제 권석림 기자= 휘거나 둘둘 말 수 있는 디스플레이나 플라스틱 기판에 극자외선을 이용해 반도체 회로를 구현하는 방법이 국내 연구진에 의해 개발됐다.

큰 열처리 기구가 필요하던 기존의 대형 디스플레이 공정을 쉽고 저렴하게 바꾸고 휘거나 둘둘 말 수 있는 반도체와 회로의 제작 가능성을 넓힐 것으로 기대된다.

6일 교육과학기술부와 한국연구재단은 박성규 중앙대 공대 전자전기공학부 교수, 김영훈 전자부품연구원 박사 등이 참여한 연구팀이 극자외선을 이용해 열에 약한 플라스틱 가판에 산화물 반도체를 만드는 방법을 개발했다고 밝혔다.

용액형 산화물 반도체를 기판에 코팅하는 기존 기술은 350∼500℃의 고온 열처리가 필요해 열에 약한 플라스틱 기판에는 구현이 어렵다는 단점이 있었다.

연구팀은 상온에서 용액 물질에 파장이 300nm 이하인 극자외선을 쬐는 방식으로 반도체 소자 및 집적회로를 구현해 기존 기술의 한계를 극복했다.

극자외선을 이용해 세계 최초로 유연한 플라스틱 기판 위에 용액형 산화물 반도체와 회로를 제작하기도 했다.

빛을 이용한 새로운 에너지 전달 체계를 통해 의료, 바이오, 반도체 산업에 새로운 시장을 열 전망이다.

박 교수는 “이번 연구는 다양한 소재에 응용할 수 있는 원천 기술”이라며 “실질적인 적용을 위해서는 반응시간, 온도조절 등을 해결해야 하지만 새로운 에너지 전달체계에 대한 근본적인 이해에 한걸음 다가가게 됐다”고 말했다.