한미반도체 vs 한화세미텍… 'TC본더' 소송전 갈등 고조

한미반도체, 12월 한화세미텍에 소송… 10개월만에 맞소송 당해

한미반도체 "정당한 법적 대응 하자 역고소… 적반하장"

'반도체대전(SEDEX) 2025'에 전시된 한미반도체 전시관 모습. [사진=한미반도체]

한미반도체와 한화세미텍이 HBM장비를 두고 법정 공방을 벌이고 있다.

한미반도체가 지난해 12월 한화세미텍을 상대로 소송을 제기한 데 이어, 한화세미텍이 최근 맞소송에 나섰기 때문이다.

28일 업계에 따르면 최근 한화세미텍은 한미반도체를 상대로 TC본더 장비 관련 특허 소송을 냈다. TC본더는 고대역폭메모리(HBM) 제작 시 D램 수직 적층 공정에 쓰이는 반도체 핵심 장비다. 한화세미텍은 한미반도체의 HBM3E용 TC본더에 탑재된 부품 일부를 핵심 쟁점으로 삼은 것으로 알려졌다.

이번 소송은 맞소송이라 볼 수 있다. 한미반도체는 지난해 12월 한화세미텍(구 한화정밀기계)가 자사 TC본더 관련 특허를 침해했다며 서울중앙지법에 특허침해소송을 제기한 바 있다. 해당 특허는 TC본더의 모듈 및 본딩 헤드 구성 방식과 관련한 건이다.

이와 관련, 한화세미텍 측은 "진행 중인 사안이어서 구체적인 내용을 밝히기는 어렵다"면서도 "반도체 장비의 핵심 기술 보호와 기술 탈취 및 도용 등 불법 행위에 대한 강력한 대응 차원"이라고 말했다.

한미반도체 측은 "당사가 한화세미텍의 기술 침해에 대해 정당한 법적 대응을 하자, 이에 맞서 역고소를 제기한 것은 '후안무치'한 행동"이라며 "사실에 근거하지 않은 '적반하장' 소송"이라며 격분했다.

한편 TC본더 시장은 그동안 한미반도체가 높은 기술력을 바탕으로 사실상 독점해왔지만 한화세미텍이 시장에 진입하면서 갈등에 불이 붙은 상황이다. 향후 양측의 소송전 장기화 가능성도 배제할 수 없는 상황이다.