[K-반도체, ASML 동맹]소부장 강자 ASML CEO 방한… 삼성·SK와 차세대 공정 협력 기대

반도체 장비 '슈퍼 을'… 화성캠퍼스 열고 K-반도체 밸류체인 밀착

차세대 노광장비 '하이 NA EUV' 등 미래 협력 강화 본격화 전망

반도체 장비기업 ASML 네덜란드 본사 전경 [사진=연합뉴스]

네덜란드 반도체 장비 업체 ASML이 한국에 새로운 사옥을 열고 K-반도체 밸류체인에 밀착한다. 삼성전자·SK하이닉스가 ASML과 반도체 최선단 공정 기술력 강화에 나서는 계기가 될 것으로 기대된다.

12일 ASML은 경기도 화성시 송동 일대에 2400억원을 들여 완공한 '화성캠퍼스' 개관식을 열었다. 행사엔 크리스토프 푸케 ASML 최고경영자(CEO)와 강감찬 산업통상부 무역투자실장, 페이터 반 더 블리트 주한 네덜란드 대사, 삼성전자·SK하이닉스 관계자 등 80여 명이 참석했다. 지난해 4월 푸케 CEO 취임 후 첫 방한이다. 

ASML은 연매출 212억 유로(약 29조원)에 달하는 반도체 장비 분야 '슈퍼 을(乙)'이다. 극자외선(EUV) 노광장비(빛으로 웨이퍼에 회로를 그리는 장비)를 독점 공급하고 있기 때문이다.  빛의 파장이 13.5㎚인 EUV 노광장비는 193㎚ 파장을 활용하는 심자외선(DUV) 장비보다 미세하게 회로를 그릴 수 있는 특성 덕분에 초미세 공정 필수품이다. 

2022년 착공한 ASML 화성캠퍼스는 지하 4층~지상 11층 2개 동에 연면적 7만4418㎡ 규모다. ASML은 이곳에 한국지사 신사옥과 함께 재제조센터(Local Repair Center), 심자외선(DUV)·EUV 트레이닝센터 등을 꾸렸다.

ASML 화성캠퍼스는 삼성전자·SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과 공정 협력과 기술 교류를 강화하고, 국내 소부장(소재·부품·장비) 생태계와 연계 체제를 구축하는 데 핵심적 역할을 수행하게 된다. 특히 '하이(High) NA EUV' 추가 도입 가능성이 거론된다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 해상도를 크게 향상시킨 차세대 노광 장비로 삼성전자는 올해 초, SK하이닉스는 지난 9월 도입한 바 있다.

한편 업계에서는 푸케 CEO가 방한 기간 중 이재용 삼성전자 회장, 최태원 SK그룹 회장 등과 회동할 것으로 예상한다. 개관식에 참석한 전영현 삼성전자 부회장, 곽노정 SK하이닉스 사장과는 이미 만났다. 이 밖에 삼성전자와 논의해 온 공동 연구개발(R&D) 센터(조인트 랩) 프로젝트도 보다 구체화할 것으로 기대된다.

ASML 관계자는 "한국 내 사업 규모 확대에 따라 신사옥을 마련했다"며 "국내 임직원 2500여 명 중 1000명 이상이 이곳으로 옮겨 근무할 예정"이라고 말했다.