20일 산업통상자원부와 업계 등에 따르면 일본 정부는 삼성전자로부터 최근 주문 받은 자국 포토레지스트 생산업체의 수출허가 신청을 받아들였다. 한국에 대한 수출 규제를 발표한 이후 한달여 만인 이달 초 포토레지스트 수출을 처음 허가한 데 이어 두 번째다.
해당 물량은 6개월여 분으로, 지난 7일 허가 받은 3개월 치를 합치면 삼성전자는 총 9개월 분량을 확보하게 됐다. 포토레지스트는 반도체 생산라인의 극자외선(EUV) 공정에 사용된다.
고순도 불화수소(에칭가스) 등과는 달리 군사전용 가능성이 거의 없어 수출 규제 명분이 떨어진다는 지적을 받았다.
일본이 포토레지스트 수출을 허가한 데 대해 업계에서는 '속도 조절' 혹은 '유화 제스처'라는 긍정적 평가가 나왔다. 다만 불확실성 해소로 보기는 어렵다는 견해도 여전하다.
업계 관계자는 "일본이 정상적 수출 허가가 진행되고 있다는 점을 주장하기 위해 '명분 쌓기'를 하는 것으로 보인다"고 말했다. 이어 "수출 허가가 이뤄진 것은 좋은 소식이지만 에칭가스 등의 수출 허가가 단 한건도 없는 만큼 우려는 여전하다"고 덧붙였다.
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